Niスパッタ膜の構造におよぼすバイアスの効果
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概要
著者
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金原 粲
東京大学工学部
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馬場 茂
成蹊大学理工学部
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馬場 茂
成蹊大学工学部
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金原 粲
東京大学工学部物理工学科
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馬場 茂
東京大学工学部物理工学科
-
村上 志郎
日立金属 先端エレクトロニクス研
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馬場 茂
東京大学工学部
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村上 志郎
日立金属 (株)
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