スパッタ法によって作製した硼化ランタン薄膜の組成と物性
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概要
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- 1992-03-20
著者
-
金原 粲
東京大学生産技術研究所
-
金原 粲
東京大学工学部
-
馬場 茂
成蹊大学理工学部
-
佐野 耕
三菱電機株式会社ディスプレーデバイス統括事務部
-
小林 昭彦
東京大学工学部物理工学科
-
中野 武雄
成蹊大学理工学部
-
中野 武雄
成蹊大学工学部物理情報工学科
-
馬場 茂
成蹊大学工学部物理情報工学科
-
佐野 耕
三菱電気(株)生活システム研
-
馬場 茂
成蹊大学工学部
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