<研究会報告>RF-sputtering で作製された炭素薄膜の作製条件と光学定数, 比抵抗, 付着力

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概要

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• 核融合科学研究所の論文

著者

• 金原 粲

  東京大学生産技術研究所

• 金原 粲

  東大工

• 馬場 茂

  成蹊大学理工学部

• 稲村 雄

  東大工

• 馬場 茂

  成蹊大学工学部

• 坂本 敏行

  東大工

• 馬場 茂

  東大工

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