アルミニウム蒸着膜の内部応力V : 薄膜

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1969-03-30

著者

• 金原 粲

  東大工

• 吉田 貞史

  東大工

• 菅原 秀明

  東大工

• 山口 十六夫

  東大工

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