複合膜の付着力測定
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概要
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Double layered structures consisting of soft (S-) metal (Au, Ag, Cu, Al) films and hard (H-) metal (Cr) film were formed onto glass (G-) substrates by vacuum evaporation method. The adhesion characteristics of those structures were investigated by using the scratch tester developed by the present authors.<BR>In case of S/H/G structures, the scratch peeling in the process of increasing loads was found to have two steps. Namely, S-film peeling at the S/H interface is occurred by comparatively small peeling loads followed by the H-film peeling at H/G interface by a larger load. On the other hand, the peeling of H/S/G structures has only one step. By applying a enough load to break the H-film, the double layers were peeled off at a time at the S/G interfaces.<BR>The mechanism of the scratch peeling is discussed.
- 日本真空協会の論文
著者
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金原 粲
東京大学生産技術研究所
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金原 粲
東京大学工学部
-
馬場 茂
成蹊大学理工学部
-
馬場 茂
成蹊大学工学部
-
菊地 章
東京工業高等専門学校
-
馬場 茂
東京大学工学部物理工学科
-
馬場 茂
東京大学工学部
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