銀蒸着膜の付着力に及ぼすイオン照射効果
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概要
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Adhesion of silver films vacuum deposited onto glass substrates was measured by the topple test machine developed in our laboratory. The substrates were exposed to glow discharge of air, oxygen, nitrogen, argon or hydrogen before deposition of films and the effects of exposure time to the adhesion were investigated.<BR>The experimental results are summarized below :<BR>1) The exposure of glass substrates to the glow discharge improves the adhesion.<BR>2) The longer exposure time causes the stronger adhesion but no appreciable improvement in adhesion more than 60 sec.<BR>3) While the samples were kept in air of 1 atm for 75 days, the adhesion strength increases with the elapse of time.<BR>4) The variation of gas species in the glow discharge did not show any significant differences on the adhesion characteristics.
- 日本真空協会の論文
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