誘電体薄膜の構造及び特性に与えるイオンビーム照射の効果
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概要
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The changes in the structure and properties of MgF<SUB>2</SUB> and ZnS films prepared by ion-beam-assisted deposition were investigated as a function of the power of argon ion beam irradiation. The refractive indices of MgF<SUB>2</SUB> films in vacuum increased with the increase of the ion beam power, and the film density also increased slightly. It was also shown that, by the dynamic observation using Environmental Scanning Electron Microscope (ESEM), ion beam assistance increases the imperviousness to water of ZnS films. It was also observed that the wetting property for water of the film surface decreased due to ion beam assistance for both MgF<SUB>2</SUB> and ZnS films.
- 日本真空協会の論文
- 1992-09-20
著者
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