蒸着薄膜の膜厚測定法-1-
スポンサーリンク
概要
著者
関連論文
- アルミナ高周波窓へのTiN薄膜コーティング
- 高周波放電電極上の自己バイアス電位分布の研究
- スパッタ法によって作製した硼化ランタン薄膜の組成と物性
- TiO_2 上の高密着力・高純度 Pt 薄膜の形成
- 大電力用高周波窓でのマルチパクタ現象
- 大電力用高周波窓の破壊現象と物性との関連
- 本学会創立60周年を迎えて
- 放電処理PTFE上のAu蒸着膜の付着力測定 (2)
- TiN/アルミナの二次電子放出
- 放電処理PTFE上のAu蒸着膜の付着力測定
- 複合膜の付着力測定
- 銀蒸着膜の付着力に及ぼすイオン照射効果 (2)
- Siウエハー表面酸化層の厚さがAg蒸着膜の付着力に及ぼす効果
- RHEEDによるPb/Si (111) 表面超構造の研究
- カーボニゼーションが及ぼす水素リサイクリング現象への効果
- 炭素系薄膜の光学定数
- TiN/アルミナセラミックのAES及びELS測定
- アルミナ高周波窓の二次電子放出及びカソードルミネセンス (2)
- アルミナ高周波窓の二次電子放出及びカソードルミネセンス
- 超高真空装置を用いてのTiNスパッタ膜の製作
- アブストラクト
- 金属蒸着膜の電気抵抗の時間変化
- 金属蒸着膜の付着力測定 (V)
- 金属蒸着膜の付着力測定 (IV)
- 金属蒸着膜の付着力測定 (III)
- 銀蒸着膜の付着力に及ぼすイオン照射効果
- 金属蒸着膜の付着力測定 (II)
- 金属蒸着膜の付着力測定
- 非晶質ゲルマニウム薄膜の内部応力, ヤング率
- 角度分解低速電子エネルギー損失分光法によるIn/Si (111) 表面超構造の研究
- 固体表面上の薄膜の付着および内部応力測定
- 金蒸着膜の熱膨脹
- クライオポンプを用いた蒸着装置
- 誘電体薄膜の構造及び特性に与えるイオンビーム照射の効果
- 表面弾性波素子を用いた薄膜の膜厚およびスパタリングイールド測定
- 水晶振動子を用いた絶縁物薄膜のスパタリングイールド測定
- 薄膜の付着強度
- Niスパッタ膜の構造におよぼすバイアスの効果
- Arガス中で蒸着された銀薄膜の電顕観察
- 炭素基板上のチタン蒸着膜の力学的性質とその焼鈍による変化
- 金属蒸着膜の力学的性質
- Si (111) 4×1-Inの特性に及ぼす電流の効果
- Si (111) 上のInの2次元凝縮相
- クライオポンプの特性 (II)
- アルミニウム,銀蒸着膜の付着力への湿度の影響(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)
- TiN膜及びTi膜の酸化 (第30回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)
- TiNをコ-ティングしたアルミナ高周波窓の性質(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)
- レゾナントリングによるアルミナ高周波窓の試験 (第27回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和61年11月12日〜14日,大阪)
- レゾナントリングによるアルミナ高周波窓の試験-2- (第29回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)
- In/Si(111)表面超構造の仕事関数(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)
- TiN薄膜によるアルミナ高周波窓のマルチパクタ抑制 (第26回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和60年11月6日〜8日,東京)
- 各種誘電体材料の大電力高周波窓としての特性 (第31回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)
- スパタリング法によるTiN薄膜の形成 (第26回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和60年11月6日〜8日,東京)
- 蒸着薄膜の膜厚測定法-2-
- 蒸着薄膜の膜厚測定法-1-