非晶質ゲルマニウム薄膜の内部応力, ヤング率

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概要

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著者

• 金原 粲

  東京大学工学部

• 馬場 茂

  成蹊大学理工学部

• 馬場 茂

  成蹊大学工学部

• 菊地 章

  東京工業高等専門学校

• 馬場 茂

  東京大学工学部物理工学科

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