超高真空装置を用いてのTiNスパッタ膜の製作
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概要
著者
-
設楽 哲夫
高エネルギー加速器研究機構
-
松田 七美男
東京電機大学工学部物理系列
-
本間 博幸
高エネルギー加速器研究機構
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松田 七美男
東京電機大学工学部環境物質化学科
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金原 粲
東京大学工学部
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福田 茂樹
高エネルギー加速器研究機構
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中尾 克己
高エネルギー加速器研究機構
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穴見 昌三
高エネルギー物理学研究所
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斎藤 芳男
高エネルギー加速器研究機構
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田中 治郎
高エネルギー物理学研究所
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坂本 敏行
東京大学工学部
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松田 七美男
高エネルギー物理学研究所
-
花木 博文
高エネルギー物理学研究所
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