可塑性樹脂基板上に成膜したZnO膜の物性評価

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概要

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•   ZnO thin films on plastic resin substrates were prepared by RF magnetron sputtering. Substrate used polycarbonate of plastic resin. ZnO thin films changed sputtering time and RF power and produced it. Surface morphology were studied by scanning electron microscopy (SEM) and atomic force mi-croscopy (AFM). Adhesive power of thin films on substrates were studied by peel test. Transparency and surface unevenness of ZnO thin films on plastic resin substrates were able to be improved by lowering RF power. ZnO thin films on plastic resin substrates found that adhesive power was stronger than ITO thin films on plastic resin substrates.

• 日本真空協会の論文
• 2008-03-20

著者

• 田巻 明

  東京電機大工

• 松田 七美男

  東京電機大学工学部物理系列

• 松田 七美男

  東京電機大学工学部先端先端科学技術研究科

• 田巻 明

  東京電機大学

• 田巻 明

  東京電機大学工学部先端先端科学技術研究科

• 吉田 尚正

  東京電機大学工学部先端先端科学技術研究科

• 井上 竜ノ介

  東京電機大学工学部先端先端科学技術研究科

• 松田 七美男

  東京電機大学大学院工学研究科物質工学専攻

• 松田 七美男

  東京電機大学

• 田巻 明

  東京電機大

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