中野 武雄 | 成蹊大学工学部物理情報工学科
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概要
関連著者
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中野 武雄
成蹊大学理工学部
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中野 武雄
成蹊大学工学部物理情報工学科
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馬場 茂
成蹊大学理工学部
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馬場 茂
成蹊大学工学部
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馬場 茂
成蹊大学工学部物理情報工学科
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金原 粲
東京大学生産技術研究所
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金原 粲
東京大学工学部
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佐野 耕
三菱電機株式会社ディスプレーデバイス統括事務部
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前田 真
成蹊大学工学研究科
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小林 昭彦
東京大学工学部物理工学科
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多久島 和弘
成蹊大学工学部
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佐藤 彰吾
成蹊大学工学部物理情報工学科
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江成 雄一
成蹊大学工学部
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田中 幸治
成蹊大学工学部物理情報工学科
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大川 賢治
成蹊大学工学部物理情報工学科
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佐野 耕
三菱電気(株)生活システム研
著作論文
- X線光電子分光法の深さ方向分析から分かるSi基板上In島状膜の構造およびその膜厚変化
- 多孔質シリコンのPLスペクトルの経時変化と表面修飾の効果
- スパッタリングプラズマ中の銅原子密度の位置分解発光分光による測定およびそのターゲット-基板間距離による変化
- Cuスパッタ製膜における成膜速度のターゲット-基板間距離依存性
- 中高圧力下(2-20Pa)のスパッタリングにおける粒子輸送過程
- 任意の屈折率を持つ層からなる光学多層膜フィルタの最適設計
- スパッタ銅膜の表面ラフネス成長の原子間力顕微鏡による観察
- 銅-インジウム重ね蒸着膜における合金化進行過程のX線光電子分光法による観察
- スパッタ法によって作製した硼化ランタン薄膜の組成と物性