シリサイド薄膜の相対スパッタエッチングレート比のエネルギー依存性
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概要
著者
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吉武 道子
物質・材料研究機構 半導体材料センター
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吉武 道子
(独)物質・材料研究機構半導体材料研究センター
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山内 康弘
物質・材料研究機構ナノマテリアル研究所
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吉武 道子
金属材料技術研究所
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吉武 道子
物質・材料研究機構
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