塩川 善郎 | アトムテクノロジー研究体
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概要
関連著者
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塩川 善郎
アトムテクノロジー研究体
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市川 昌和
アトムテクノロジー研究体
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市川 昌和
Jrcat-atp
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塩川 善郎
JRCAT(アトムテクノロジー研究体)-ATP
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小川 倉一
大阪府立産業技術総合研究所
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棚橋 克人
大阪府立大学先端科学研究所
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岡本 昭夫
大阪府立産業技術総合研究所
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川合 知二
大阪大学産業科学研究所
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草野 英二
金沢工業大学
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安井 利明
大阪大学大学院基礎工学研究科
著作論文
- パイプ中の遅延時間によるH_2O吸着特性の測定
- ステンレス鋼表面のH_2O付着確率低減法
- ステンレス鋼表面におけるH_2O付着確率の表面状態依存性
- 小片試料表面からの吸着性放出ガスの計測法
- 無振動クライオポンプの開発
- コンダクタンス変調法による各種ポンプの排気速度特性評価
- 定量的解析手法によるITOスパッタ時の酸素添加メカニズムの研究
- マイクロオ-ジェ/シムス分析装置の開発-2-機構 (第28回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)
- マイクロオ-ジェ/シムス分析装置の開発-1-ソフト・性能 (第28回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)
- オ-ジェ電子分光法による定量分析--Fe-Cr酸化物の深さ方向定量分析 (第19回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)