マイクロオージェ/シムス分析装置の開発II (機構)
スポンサーリンク
概要
著者
-
塩川 善郎
アトムテクノロジー研究体
-
伊野 洋一
日電アネルバ株式会社
-
塩川 善郎
日電アネルバ (株)
-
安藤 真悟
日電アネルバ (株)
-
田中 彰
日電アネルバ (株)
-
上林 厚
日電アネルバ (株)
-
山口 裕人
日電アネルバ (株)
-
杉本 聡
日電アネルバ (株)
-
斎藤 元明
日電アネルバ (株)
-
伊野 洋一
日電アネルバ (株)
関連論文
- パイプ中の遅延時間によるH_2O吸着特性の測定
- ステンレス鋼表面のH_2O付着確率低減法
- ステンレス鋼表面におけるH_2O付着確率の表面状態依存性
- 小片試料表面からの吸着性放出ガスの計測法
- 無振動クライオポンプの開発
- コンダクタンス変調法による各種ポンプの排気速度特性評価
- 定量的解析手法によるITOスパッタ時の酸素添加メカニズムの研究
- マイクロオ-ジェ/シムス分析装置の開発-2-機構 (第28回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)
- マイクロオ-ジェ/シムス分析装置の開発-1-ソフト・性能 (第28回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)
- オ-ジェ電子分光法による定量分析--Fe-Cr酸化物の深さ方向定量分析 (第19回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)
- サマリー・アブストラクト
- サマリー・アブストラクト
- 四重極質量分析計を用いた無機ガス用GC/MSの特性
- VAMAS-SCA-WG in Japan活動報告
- マイクロオージェ/シムス分析装置の開発II (機構)
- マイクロオージェ/シムス分析装置の開発I (ソフト・性能)
- オージェ電子分光法による定量分析 : Fe-Cr酸化物の深さ方向定量分析
- 四重極型質量分析計と電離真空計を組合せた分圧測定法
- 高精度化された四重極質量分析計の特性評価