四重極型質量分析計と電離真空計を組合せた分圧測定法

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 日本真空協会の論文

著者

• 伊野 洋一

  日電アネルバ株式会社

• 相澤 朋之

  日電アネルバ株式会社

• 平良 哲二

  日電アネルバ株式会社

関連論文

• 四重極質量分析計を用いた無機ガス用GC/MSの特性
• マイクロオージェ/シムス分析装置の開発II (機構)
• マイクロオージェ/シムス分析装置の開発I (ソフト・性能)
• 四重極型質量分析計と電離真空計を組合せた分圧測定法
• 高精度化された四重極質量分析計の特性評価

スポンサーリンク