有機金属化学気相法による強誘電体メモリー薄膜作製 (特集 高機能を付与する成膜技術最前線) -- (開発事例編)
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概要
著者
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Funakubo H
Dep. Of Innovative And Engineered Materials Tokyo Inst. Of Technol.
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Funakubo H
Tokyo Inst. Technol. Yokohama Jpn
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Funakubo Hiroshi
Department Of Innovative And Engineered Materials Interdisciplinary Graduated School Of Science And
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舟窪 浩
東京工業大学大学院 総合理工学研究科 物質科学創造専攻
-
舟窪 浩
東工大院総合理工学研究科
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