MOCVD法で(100)MgO基板上に合成したエピタキシャル成長PbTiO_3およびPZT皮膜内の残留ひずみ
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概要
著者
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水谷 惟恭
東京工業大学
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篠崎 和夫
東京工業大学工学部無機材料工学科
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篠崎 和夫
東京工業大学大学院理工学研究科
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舟窪 浩
東京工大 工
-
舟窪 浩
東京工業大学大学院総合理工学研究科
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船窪 浩
東京工業大学工学部無機材料工学科
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篠崎 和夫
東京工大 大学院理工学研究科
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舟窪 浩
東京工業大学大学院 総合理工学研究科 物質科学創造専攻
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日置 毅
東京工業大学工学部無機材料工学科
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大津 雅人
東京工業大学工学部無機材料工学科
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赤井 孝夫
日本フィリップス株式会社
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