3L05 MOCVD 法による Nb 添加 SrTiO_3 多結晶薄膜の作成とその半導性
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概要
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- 日本セラミックス協会の論文
- 2002-09-22
著者
-
水谷 惟恭
東京工業大学
-
脇谷 尚樹
東京工業大学工学部無機材料工学科
-
篠崎 和夫
東京工業大学工学部無機材料工学科
-
水谷 惟恭
国立東京高等工業専門学校
-
篠崎 和夫
東京工業大学大学院理工学研究科
-
永戸 厚
東京工業大学院
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