パルスレーザー蒸着法によるSr_<0.5>Ba_<0.5>Nb_2O_6薄膜の成膜ガス雰囲気と膜厚が配向性と表面形状に及ぼす影響(<特集>セラミックスインテグレーション)
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概要
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Sr_<0.5>Ba_<0.5>Nb_2O_6 (SBN) thin films were prepared on Pt-coated Si (Pt/Ti/SiO_2/Si (100)) substrates by pulsed laser deposition. The influence of ambient gas type on the preparation of SBN thin films was studied. N_2O gas was found to be more effective for improving the oxidation reaction during deposition under lower pressure than O_2 gas because, under lower gas pressure, the ablated species can keep higher energy for improving the crystallinity of SBN thin films. Structure changes in SBN thin films have been investigated as a function of film thickness in the range of 0.1-1.2 μm. Highly (001) oriented SBN layers have been obtained in thicker films.
- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 2002-05-01
著者
-
水谷 惟恭
東京工業大学
-
脇谷 尚樹
東京工業大学工学部無機材料工学科
-
篠崎 和夫
東京工業大学工学部無機材料工学科
-
水谷 惟恭
国立東京高等工業専門学校
-
篠崎 和夫
東京工業大学大学院理工学研究科
-
脇谷 尚樹
東京工大 大学院理工学研究科
-
篠崎 和夫
東京工大 大学院理工学研究科
-
篠崎 和夫
東工大院工
-
郎 徳威
東京工業大学大学院理工学研究科材料工学専攻
-
Wakiya Naoki
Graduate School Of Sci. And Technol. Shizuoka Univ.
-
Wakiya Naoki
Department Of Materials Science And Chemical Engineering Shizuoka University
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