減圧熱プラズマ成膜法によるチタン酸鉛PbTiO_3薄膜の合成に及ぼす成膜圧力の影響
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概要
著者
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水谷 惟恭
東京工業大学
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脇谷 尚樹
東京工業大学工学部無機材料工学科
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篠崎 和夫
東京工業大学工学部無機材料工学科
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水谷 惟恭
国立東京高等工業専門学校
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篠崎 和夫
東京工業大学大学院理工学研究科
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永田 真吾
東京工業大学工学部無機材料工学科 東京工業大学大学院
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脇谷 尚樹
東京工大 大学院理工学研究科
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篠崎 和夫
東京工大 大学院理工学研究科
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篠崎 和夫
東工大院工
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増田 善男
財団法人国際超電導産業技術研究センター超電導工学研究所
-
Wakiya Naoki
Department Of Materials Science And Chemical Engineering Shizuoka University
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