2L03 パルス MOCVD 法で原料供給方法を変化させた PZT 薄膜の微構造の高品質化

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概要

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• 日本セラミックス協会の論文
• 2002-09-22

著者

• 水谷 惟恭

  国立東京高等工業専門学校

• 篠崎 和夫

  東京工業大学大学院理工学研究科

• 篠崎 和夫

  東工大院

• 脇谷 尚樹

  東工大院工

• 水谷 惟恭

  東工大院工

• 藤戸 啓輔

  東工大院

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