機能性薄膜におけるバッファーレイヤの役割 (特集 セラミックスインテグレーション)
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概要
著者
-
脇谷 尚樹
東京工業大学工学部無機材料工学科
-
水谷 惟恭
国立東京高等工業専門学校
-
篠崎 和夫
東京工業大学大学院理工学研究科
-
脇谷 尚樹
東京工大 大学院理工学研究科
-
篠崎 和夫
東京工大 大学院理工学研究科
-
篠崎 和夫
東工大院工
-
Wakiya Naoki
Graduate School Of Sci. And Technol. Shizuoka Univ.
-
Wakiya Naoki
Department Of Materials Science And Chemical Engineering Shizuoka University
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