Microstructure and electrical properties of BaTiO3 thin films by modified CSD
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概要
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0.3 M BaTiO3 (BT) precursor solution was prepared by the modified CSD, in which partially hydrolyzed Ti-alkoxide and Ba precursor solution was reacted in iced water bath to prepare the highly polymerized BT precursor solution. The BT precursor solution was spin-coated on a Pt/Ti/SiO2/Si substrate with and without (100)-oriented LaNiO3 (LNO) thin film electrode. In addition, effect of the pre-annealing at 600°C in O2 atmosphere was elucidated by measuring the electrical properties of the resulting BT thin films deposited by the different annealing process. The results clearly indicated that the 600°C pre-annealing and the LNO thin film electrode are effective to enhance the electrical properties of the resultant BT thin films from the precursor solution by the partial hydrolysis method.
- The Ceramic Society of Japanの論文
著者
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脇谷 尚樹
東京工業大学工学部無機材料工学科
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脇谷 尚樹
東京工大 大学院理工学研究科
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WAKIYA Naoki
Department of Materials Science and Chemical Engineering, Shizuoka University
-
SAKAMOTO Naonori
Department of Materials Science and Chemical Engineering, Shizuoka University
-
FU Desheng
Graduate School of Materials Science and Technology, Shizuoka University
-
Suzuki Hisao
Graduate School Of Science And Technology Shizuoka University
-
Wakiya Naoki
Graduate School Of Sci. And Technol. Shizuoka Univ.
-
NAGASAKA Masaomi
Department of Materials Science and Chemical Engineering, Shizuoka University
-
IWASAKI Dai
Department of Materials Science and Chemical Engineering, Shizuoka University
-
Suzuki Hisao
Graduate School Of Sci. And Technol. Shizuoka Univ.
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Wakiya Naoki
Department Of Materials Science And Chemical Engineering Shizuoka University
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Suzuki Hisao
Department Of Materials Science Shizuoka University
-
FU Desheng
Graduate School of Science and Technology, Shizuoka University
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