C-6-2 高エネルギーH20を用いてスパッタバッファー層上に成長したZnO膜の特性(C-6.電子部品・材料)
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概要
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- 一般社団法人電子情報通信学会の論文
- 2013-03-05
著者
-
大石 耕一郎
長岡工業高等専門学校
-
加藤 孝弘
長岡技科大
-
竹澤 和樹
長岡技科大
-
小柳 貴寛
長岡技科大
-
片桐 裕則
長岡工業高専
-
安井 寛治
長岡技科大
-
神保 和夫
長岡工業高専
-
竹澤 和樹
長岡技術科学大学
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