C-6-8 触媒反応生成高エネルギー窒素系プリカーサーを用いたGaN膜の成長(C-6.電子部品・材料)

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概要

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• 一般社団法人電子情報通信学会の論文
• 2013-03-05

著者

• 田村 和之

  長岡技術科学大学 工学部 電気系

• 安井 寛治

  長岡技科大

• 西山 智哉

  長岡技科大

• 谷川 世大

  長岡技科大

• 中澤 勇太

  長岡技科大

• 田村 和之

  長岡技科大

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