田村 和之 | 長岡技術科学大学 工学部 電気系
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概要
関連著者
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田村 和之
長岡技術科学大学 工学部 電気系
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長岡技術科学大学電気系
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田村 和之
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著作論文
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- C-6-7 Hot-mesh CVD法によるSiC/Si上へのAINバッファー層を用いたGaN成長(C-6.電子部品・材料,一般講演)
- Hot-mesh CVD法によるAlNバッファー層を用いたSiC/Si(111)上へのGaN成長
- C-6-8 触媒反応生成高エネルギー窒素系プリカーサーを用いたGaN膜の成長(C-6.電子部品・材料)