同時スパッタプリカーサを用いたCZTS薄膜太陽電池(薄膜プロセス・材料, 一般)
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概要
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汎用材料だけで構成できるCu_2ZnSnS_4を用いて環境調和型CZTS系薄膜太陽電池を作製し、評価を行った。CZTSの作製には、三源同時スパッタ法、硫化法の二段階作製法を用いた。従来は、それぞれ別の装置を用いていため、サンプルを一度大気中に暴露することによる影響が懸念された。そこで、真空プロセスによるインライン型の装置を用いて、高品質CZTS薄膜を作製した。本報告では、CZTS薄膜の組成を詳細に分析するため、ICP組成分析を用いた。それを元にCu-poor、Zn-richのプリカーサを用いて硫化温度の検討を行った。その結果、595℃の硫化温度においてセル変換効率3.46%が得られた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2005-11-04
著者
-
山田 覚
長岡工業高等専門学校
-
片桐 裕則
長岡工業高等専門学校 電気工学科
-
片桐 裕則
長岡工業高等専門学校
-
神保 和夫
長岡工業高等専門学校
-
ウィン シュウ
長岡工業高等専門学校
-
マウ ウィン
長岡工業高等専門学校
-
木村 亮一
長岡工業高等専門学校
-
上村 剛
長岡工業高等専門学校
-
片桐 裕則
長岡工高専
-
片桐 裕則
長岡工業高専
-
神保 和夫
長岡工業高専
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