BCB埋め込みSi細線スロット導波路を用いた温度無依存波長フィルタ(光パッシブコンポネント(フィルタ,コネクタ,MEMS),シリコンフォトニクス,光ファイバ,一般)
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概要
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近年、コンピュータを構成するLSIチップではデータ処理の高速化が要求されており、将来、10GHzのクロック周波数、数十Tbpsというデータ処理が必要になると予測されている。これを克服すべくシリコンフォトニクスを用いた光配線代替技術の研究が盛んに行われている。重要な克服すべき課題として、LSIロジック層発生熱による光学特性の不安定化が挙げられる。本研究では中央低屈折率部分に強く光を閉じ込めるスロット導波路を用い、ギャップ部分に負の屈折率温度係数を有するBCBを埋め込むことで、Siの屈折率温度係数を補償することを提案した。今回、BCB埋め込みスロット導波路の導波解析、及び温度無依存リング共振器およびMZIの設計及び作製評価に関してご報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2010-12-10
著者
-
荒井 滋久
東京工業大学
-
荒井 滋久
東京工業大学量子ナノエレクトロニクス研究センター:科学技術振興機構
-
荒井 滋久
東京工業大学 理工学研究科 電気電子工学専攻
-
西山 伸彦
東京工業大学 理工学研究科 電気電子工学専攻
-
西山 伸彦
東京工業大学理工学研究科電気電子工学専攻
-
渥美 裕樹
東京工業大学大学院理工学研究科電気電子工学専攻
-
荒井 滋久
東京工業大学量子ナノエレクトロニクス研究センター:東京工業大学大学院理工学研究科電気電子工学専攻
-
小田 学
東京工業大学理工学研究科電気電子工学専攻
-
小田 学
東京工業大学大学院理工学研究科電気電子工学専攻
-
荒井 滋久
東京工業大学電気電子工学専攻:東京工業大学量子ナノエレクトロニクス研究センター
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小田 学
東京工業大学 理工学研究科 電気電子工学専攻
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東京工業大学理工学研究科 電気電子工学専攻
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東京工業大学大学院電気電子工学専攻:東京工業大学大学院量子ナノエレクトロニクス研究センター
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東京工業大学
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