高効率熱電変換デバイス用シリコンナノ構造の熱電特性(機能ナノデバイス及び関連技術)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
実用化に対して十分な変換効率を持つ熱電変換デバイスのための材料として,シリコンナノ構造に注目している.我々は,電子の閉じ込め効果による変換効率の向上を実験的に明らかにするために,様々な膜厚とキャリア密度を持つ極薄SOI基板についてゼーベック係数の測定を行った.本報告では,測定系の改良により測定精度の向上を図るとともに,極薄シリコン膜のゼーベック係数を予測するために,ボルツマン輸送方程式に基づいた理論計算を行った.また,ナノメートルサイズの試料の熱電特性を測定するための新手法として,表面電位顕微鏡(KFM)を用いたゼーベック係数の測定にも着手した.
- 2009-02-19
著者
-
池田 浩也
静岡大学電子工学研究所
-
サレ ファイズ
静岡大学電子工学研究所
-
浅井 清涼
静岡大学電子工学研究所
-
石田 明広
静岡大学工学部
-
石田 明広
静岡大学 工学部電気電子工学科
-
Ikeda H
National Laboratory For High Energy Physics
-
サレ ファイズ
静岡大学電子工学研究所:日本学術振興会
関連論文
- 高効率熱電変換デバイス用シリコンナノ構造の熱電特性(機能ナノデバイス及び関連技術)
- 高効率熱電変換デバイス用シリコンナノ構造の熱電特性(機能ナノデバイス及び関連技術)
- IV-VI族半導体赤外線レーザ
- シリコンを用いた単電子冷却デバイスの研究 (電子部品・材料)
- シリコンを用いた単電子冷却デバイスの研究 (電子デバイス)
- Si/SiO_2共鳴トンネル構造におけるSi井戸層のドット化効果(結晶成長評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,その他の電子材料))
- Pulsed Laser Deposition and Analysis for Structural and Electrical Properties of HfO_2-TiO_2 Composite Films
- Reactive Deposition Epitaxy of CoSi_2 Films on Clean and Oxygen-Adsorbed Si(001) Surfaces
- Surface and Interface Smoothing of Epitaxial CoSi_2 Films by Solid-Phase Epitaxy Using Adsorbed Oxygen Layers and Two-Step Growth on Si(001) Surfaces
- Structural and Electrical Characteristics of HfO_2 Films Fabricated by Pulsed Laser Deposition
- Growth Processes and Electrical Characteristics of Silicon Nitride Films Formed on Si(100) by Radical Nitrogen
- Electrical Properties and Solid-Phase Reactions in Ni/Si(100) Contacts
- IV-VI族化合物半導体薄膜と赤外レーザへの応用
- 平成20年度第11回リフレッシュ理科教室 : 東海支部浜松会場
- シリコンナノ構造による熱電変換デバイスの特性向上(機能ナノデバイスとおよび関連技術)
- シリコンナノ構造による熱電変換デバイスの特性向上(機能ナノデバイスとおよび関連技術)
- 平成19年度第10回リフレッシュ理科教室-東海支部浜松会場-開催報告
- 多重ドットトランジスタによる単電子転送動作シミュレーション
- 多重ドットトランジスタによる単電子転送動作シミュレーション(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
- 多重ドットトランジスタによる単電子転送動作シミュレーション(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
- 多重ドットトランジスタによる単電子転送動作シミュレーション(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
- 平成18年度第9回リフレッシュ理科教室-東海支部浜松会場- : 開催報告
- 第12回固体薄膜・表面国際会議(ICSFS-12)
- Si/SiO_2共鳴トンネル構造におけるSi井戸層のドット化効果(結晶成長評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,その他の電子材料))
- Si/SiO_2共鳴トンネル構造におけるSi井戸層のドット化効果(結晶成長評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,その他の電子材料))
- シリコン多重ドット構造における単電子伝導の光応答特性(半導体Si及び関連材料・評価)
- 極薄SOI構造の熱凝集現象とパターニングの効果(結晶成長評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,その他の電子材料))
- ホットウォールエピタキシー法によるIV-VI族半導体薄膜・超格子の作製とデバイス応用
- ガス相触媒化学気相蒸着法による鉄ナノ粒子形成とカーボンナノチューブの密度制御
- 窒化物ナノ蛍光体による新規紫外発光デバイスの研究
- エンベロップ関数近似による量子カスケード構造の設計
- 量子カスケードレーザ用AlN/GaN量子井戸構造の作製と評価(結晶成長評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,その他の電子材料))
- 量子カスケードレーザ用AlN/GaN量子井戸構造の作製と評価(結晶成長評価およびデバイス(化合物, Si, SiGe, その他の電子材料))
- 量子カスケードレーザ用AlN/GaN量子井戸構造の作製と評価(結晶成長評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,その他の電子材料))
- ナノテク・材料と赤外線
- 材料・光学部品 (1)
- HWE法によるAlN/GaN量子カスケード構造の作製と構造評価(進展する窒化物半導体光・電子デバイスの現状,及び一般)
- HWE法によるAlN/GaN量子カスケード構造の作製と構造評価(進展する窒化物半導体光・電子デバイスの現状,及び一般)
- 赤外線半導体レーザの最近の動向
- 長波長赤外線レーザ用PbSnCaTe薄膜の作製と評価
- HWE法によるAlN/GaN短周期超格子の作製と評価
- 長波長赤外線レーザ用PbSnCaTe薄膜の作製と評価
- HWE法によるAlN/GaN短周期超格子の作製と評価
- 長波長赤外線レーザ用PbSnCaTe薄膜の作製と評価
- HWE法によるAlN/GaN短周期超格子の作製と評価
- 波長2μm以上の半導体レーザとその応用
- IV-VI族半導体赤外線レーザの最近の研究
- 高不純物濃度SOI基板のゼーベック係数(ナノ機能性1,機能ナノデバイス及び関連技術)
- シリコンを用いた単電子冷却デバイスの研究(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
- シリコンを用いた単電子冷却デバイスの研究(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
- シリコンを用いた単電子冷却デバイスの研究(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
- 高不純物濃度SOI基板のゼーベック係数(ナノ機能性1,機能ナノデバイス及び関連技術)
- 5)IV-VI族赤外線レーザの最近の研究(情報入力研究会)
- 11p-N-4 PbTe-Pb_Sn_Te超格子のサイクロトロン共鳴
- CdSSe:Mn-ZnS超格子による赤色EL素子
- HWE法によるGaN薄膜成長と薄膜特性
- HWE法によるGaN薄膜成長と薄膜特性
- ホットウォール法によるSrS : Ce薄膜とCdSSe-SrS超格子とそのEL素子への応用
- Hot Wall法によるEL素子用薄膜の成長と評価
- 30p-K-12 PbTe-Pb_Sn_xTe超格子の光学的特性
- Characterizations of ZnS-ZnSe superlattices grown by hot wall epitaxy
- 28a-A-5 PbTe-Pb_Sn_xTe超格子におけるサイクロトロン共鳴の周期依存性
- 3p-A-1 IV-VI族半導体超格子の磁気プラズマ吸収
- 極薄SOI構造の熱凝集現象とパターニングの効果(結晶成長評価およびデバイス(化合物, Si, SiGe, その他の電子材料))
- 極薄SOI構造の熱凝集現象とパターニングの効果(結晶成長評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,その他の電子材料))
- パルスレーザー蒸着法による高誘電率薄膜の作製と電気的特性
- Growth Processes and Electrical Characteristics of Silicon Nitride Films Formed on Si(100) by Radical Nitrogen
- Electrical Properties and Solid-Phase Reactions in Ni/Si(100) Contacts
- Structural and Electrical Characteristics of HfO_2 Films Fabricated by Pulsed Laser Deposition
- シリコン多重ドット構造における単電子伝導のシミュレーション解析と光照射効果への適用
- ホットウォール法によるZnTe,ZnTe-ZnSe超格子へのp型ドーピング
- Atomic-Scale Characterization of Nitridation Processes on Si(100)-$2\times 1$ Surfaces by Radical Nitrogen
- Application of a Two-Step Growth to the Formation of Epitaxial CoSi2 Films on Si(001) Surfaces: Comparative Study using Reactive Deposition Epitaxy
- Pドープ極薄Siにおけるゼーベック係数の理論的評価(機能ナノデバイス及び関連技術)
- Pドープ極薄Siにおけるゼーベック係数の理論的評価(機能ナノデバイス及び関連技術)
- 単電子ポンプ動作を利用した半導体冷却デバイスの研究(機能ナノデバイス及び関連技術)
- X線回折によるPbTe-Pb_1-xSn_xTe超格子中のSn拡散の評価と低拡散HWE成長法
- 鉛ストロンチウムカルコゲナイド薄膜の特性と赤外線レーザ
- ホットウオールエピタキシー法による半導体薄膜作製と発光素子への応用
- IV-VI族赤外線レーザの最近の研究
- 4-6族長波長半導体レ-ザ (光の波長・位相制御技術とその応用論文特集)
- ホットウォール法によって製作した(p/n)PbTe多層膜
- 単電子ポンプ動作を利用した半導体冷却デバイスの研究(機能ナノデバイス及び関連技術)
- 外部電圧によりフェルミエネルギー制御した極薄Siのゼーベック係数 (電子デバイス)
- 外部電圧によりフェルミエネルギー制御した極薄Siのゼーベック係数 (シリコン材料・デバイス)
- 外部電圧によりフェルミエネルギー制御した極薄Siのゼーベック係数(機能ナノデバイス及び関連技術)
- 外部電圧によりフェルミエネルギー制御した極薄Siのゼーベック係数(機能ナノデバイス及び関連技術)
- 外部電圧によりフェルミエネルギー制御した極薄Siのゼーベック係数
- 外部電圧によりフェルミエネルギー制御した極薄Siのゼーベック係数
- ホットウォ-ル蒸着法によるSrSe薄膜の作製 (第29回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)
- 外部電圧印加に伴うキャリア注入による極薄SOI膜のゼーベック係数変化(機能ナノデバイス及び関連技術)
- 外部電圧印加に伴うキャリア注入による極薄SOI膜のゼーベック係数変化(機能ナノデバイス及び関連技術)
- 収束イオンビームを用いたPドープSOI基板に対するGaイオン注入とそのゼーベック係数(結晶成長、評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
- 収束イオンビームを用いたPドープSOI基板に対するGaイオン注入とそのゼーベック係数(結晶成長、評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
- 収束イオンビームを用いたPドープSOI基板に対するGaイオン注入とそのゼーベック係数(結晶成長、評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
- 極薄SOI膜のゼーベック係数制御とナノ構造熱電特性測定技術の構築(機能ナノデバイス及び関連技術)