WEDMによる高アスペクト比微小径電極に関する研究(オーガナイズドセッション,超塑性と材料および造形法)
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概要
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In Order to meet the demands of high integration in electronic and optical application, mechanical micro-machining technology has been progressing rapidly in recent years for its 3D accessibility to a variety of materials. Newly developed in this search is a multifunctional machining system capable of micro-milling, turning, grinding, buffing, polishing, EDM, ECM, laser machining and their combination. Features that were considered at process were hole, slots, free from surface, cylindrical feature and surface. We focus on the deep hole in micro region. This paper reports micro deep holes fabrication by micro EDM and its evaluation.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2004-09-23
著者
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