21211 画像情報援用マイクロ加工機の位置制御に関する研究(高精度・高能率のための加工技術(2),OS9 高精度・高能率のための加工技術)
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概要
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Micro-meso mechanical manufacturing (M4) technology has recently attracted attentions as an alternative micromachining solution because of its potentials of processing variety in materials into 3 dimensional forms. Using a micro lathe, which is installable and operational in a SEM (scanning electron microscope), we control the position of XZ-stage of the micro lathe with visual feedback control by image of CCD camera. We compare the results of linear and circular path between without visual feedback control and with visual feedback control, and confirm the effect of the visual feedback control.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2006-03-09
著者
-
江田 弘
茨城大学
-
周 立波
茨城大
-
清水 淳
茨城大
-
尾嶌 裕隆
茨城大
-
周 立波
茨城大学工学部
-
清水 淳
茨城大学工学部
-
江田 弘
茨城大
-
尾嶌 裕隆
茨城大学工学部
-
尾嶌 裕隆
茨城大工
-
齋藤 勝弘
茨城大院
-
斎藤 勝弘
茨城大院
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