213 多機能マイクロマシニングシステムによる非球面レンズ金型の創成
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概要
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In order to meet the demands of high integration in electronic and optical applications, mechanical micro-machining technology [1,2] has been progressing rapidly in recent years for its 3D accessibility to a variety of materials. Newly developed in this research is a multifunctional machining system capable of micro- milling, turning, grinding, buffing, polishing, EDM, ECM, laser machining and their combinations. This paper reports design and development of the system and its application in micro lens mold fabrication.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2002-08-23
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