608 センサベース・マイクロマニピュレーション : プローブの接触制御に関する研究
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概要
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Over the past few years, a considerable number of new semiconductors have been developed. Furthermore, semiconductor pattern is more and more fine and thin. Contact-control problem is one of the most important problems. Our ultimate goal is to develop a soft-contact-probing system making good use of multi sensor-information. This paper presents a new experiment system and that sensor-information is very important to probing and micro-manipulation.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2003-09-19
著者
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