212 SEM 内マイクロ旋盤の設計及び製作
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概要
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Miniaturize mechanical or electric products need to be produced at a reasonable cost. Production of micro parts encounters several problems, such as chemical reaction, microstructure dependency which are obtains negligible at nano machining. This research aims to develop a micro-lathe, which enables to in-situ observe cutting behavior, and influence of microstructure dependency as it is installed inside SEM. This paper has described the details of micro-lathe, and the primary cutting test.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2002-08-23
著者
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