Siウエハインフィード研削における切削軌跡密度と機械剛性の影響 : 第1報 : モデルと解析
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概要
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- 2010-01-01
著者
-
周 立波
茨城大学工学部
-
清水 淳
茨城大学工学部
-
周 立波
茨城大工
-
山本 武幸
茨城大学工学部
-
光田 孝仁
茨城大学理工学研究科
-
田 業氷
茨城大学工学部
-
Zhou Libo
Department Of Intelligent System Engineering Ibaraki University
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