305 ステレオ法によるSEM画像からの3次元計測および形状復元(精密/微細加工と評価)
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概要
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SEM (scanning electron microscope) is used for semiconductor device production and observation of the microstructure in the MEMS technology. However, there is a problem that information is not provided at all about the height of the object. In this study, we used technology called the Means of Binocular Stereopsis which restored height information from the 2D stereo pair images. The matching technique to find the corresponding point of the object between stereo pair images is necessary. We used shape based pattern matching and performed 3D measurement and shape reconstruction of SEM images. And measurement result with proposed method is compared with the result with the laser microscope.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2007-09-28
著者
-
江田 弘
茨城大学
-
周 立波
茨城大
-
清水 淳
茨城大
-
笹本 侑弥
茨城大
-
大塚 春樹
茨城大学院
-
尾嶌 裕隆
茨城大
-
周 立波
茨城大学工学部
-
清水 淳
茨城大学工学部
-
江田 弘
茨城大学工学部
-
江田 弘
茨城大
-
尾嶌 裕隆
茨城大学工学部
-
尾嶌 裕隆
茨城大工
-
笹本 侑弥
茨城大 大学院
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