304 高機能材料のCMG(Chemo-Mechanical-Grinding)加工に関する研究(精密/微細加工と評価)
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概要
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As finishing techniques for silica glass substrate, the free abrasive processes are able to offer a better surface roughness, but sacrifice profile accuracy. On the other hand, the fixed abrasive process or grinding is known as a promising solution to improve accuracy of profile geometry, but always introduces damaged layer. In order to simultaneously achieve both surface quality and profile accuracy, this research has proposed a novel chemo-mechanical-grinding (CMG) process by effective use of chemical reaction in the grinding process
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2007-09-28
著者
-
周 立波
茨大工
-
清水 淳
茨大工
-
周 立波
茨城大学工学部
-
清水 淳
茨城大学工学部
-
江田 弘
茨城大学工学部
-
椎名 剛志
茨大院
-
江田 弘
茨大工
-
土屋 大基
茨大工
-
山本 武幸
茨大工
-
江田 弘
茨城大
-
山本 武幸
茨城大学工学部
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