Research on chemo-mechanical grinding of large quartz glass substrate
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概要
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- 2009-10-01
著者
-
周 立波
茨城大学工学部
-
周 立波
茨城大工
-
Shimizu Jun
Department Of Clinical Dietetics And Human Nutrition Faculty Of Pharmaceutical Sciences Josai Univer
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Shimizu Jun
Department Of Intelligent Systems Engineering Ibaraki University
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ZHOU Libo
Department of Intelligent Systems Engineering, Ibaraki University
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Yamamoto Takeyuki
Department Of Intelligent Systems Engineering Ibaraki University
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SHIINA Takeshi
Graduate School of Science and Technology, Ibaraki University
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QIU Zhongjun
Graduate School of Science and Technology, Ibaraki University
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TASHIRO Toshiaki
Tokyo Diamond Tool Manufacturing
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Shimizu Jun
Department Of Intelligent System Engineering Ibaraki University
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Yamamoto Takeyuki
Department Of Intelligent System Engineering Ibaraki University
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Qiu Zhongjun
Graduate School Of Science And Technology Ibaraki University
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Shiina Takeshi
Graduate School Of Science And Technology Ibaraki University
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Zhou Libo
Department Of Intelligent System Engineering Ibaraki University
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