センサベース・マイクロマニピュレーション : 三次元力センサを用いた接触圧の検出について(オーガナイズドセッション,ライフサポートにおける工学技術)
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概要
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In recent years, contact-control problem with a semiconductor device is one of the most important problems. The ultimate goal is to develop a soft-contact-probing system (Micro Manipulation System equipped with Multifunctional Generic Sensor) making good use of multi sensor-information. From an approach stage to the measurement stage of an electrical property, these are divided into each step of operation. In this paper, it presents the Micro-Probing-Unit equipped with the New 3-D Force Sensors, and detection of contact force using the Micro-Probing-Unit.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2004-09-23
著者
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