607 電子顕微鏡内マイクロ加工機械の設計および実験報告
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概要
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Micro-meso mechanical manufacturing (M4) technology has recently attracted attentions as an alternative micromachining solution because of its potentials of processing variety in materials into 3 dimensional form. A micro lathe, which is installable and operational in a SEM (scanning electron microsope) vacuum chamber, has been developed to understand surface chemistry effects and mechanics at the cutting point where the chip formation and defection take place or forces are applied.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2003-09-19
著者
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