414 視覚情報を用いたマイクロマニピュレーション
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概要
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This project aims to develop a micro-manipulation system, which enables unskilled operators to implement on site operations to a tiny object at an environment of scanning electron microscope (SEM). The current research has developed an image-processing algorithm to real-time capture the movements of the tool tip, to translate the movements to the hypothetical magnification and then to adaptively control the movements of manipulator accordingly. The visual feedback algorithm allows the operator to simultaneously conduct fabrication and observation without paying much attention to operational conditions. This paper has described the visual feedback algorithm to enhance the operation ability of the system.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2001-09-20
著者
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