ピコ秒パルスレーザによる球面形状創成に関する研究(オーガナイズドセッション,超塑性と材料および造形法)
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概要
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Recently, in order to fulfill the demands of high integration in electronic and optical applications, industries are looking for multiple principles to access different materials in 3-dimensional manner according to each objective. Laser micro-machining has been seen as one of the promising technology for processing of variety materials. Especially, the ultra short pulsed laser reduces heat-affected damage of the material and opens new way for micro machining. Reported in this paper are our recent research works of using pico second pulsed laser to fabricate micro structure on Si_3N_4 ceramics.
- 2004-09-23
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