214 鉄鋼材料のマイクロマシニングにおける結晶依存性の解明
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
MEMS is getting a lot attention in processing micro devices. But, these processing is limited to mass production and structure. So, micro machining is reconsidered because that is efficient way to process three-dimentional shape, to make complex structure. The propose of this investigation is to analyze the effect of material's inhomogeneity in carbon steel and size effect on the shape, accuracy of dimension, machinability. Micro scratching test is one of the methods to analyze these phenomena. This paper reports on the results of micro scratching conduct on the S25C and the effect of α-ferrite's plastic flow in pearlite.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2002-08-23
著者
関連論文
- 機械工学年鑑(1988年) 加工学・加工機器
- 2812 X 線回折を用いたシリコンウエハの研削ダメージ評価法の検討
- Siウエハの研削加工ダメージの評価に関する研究
- 305 ステレオ法によるSEM画像からの3次元計測および形状復元(精密/微細加工と評価)
- 217 超磁歪を用いた制振デバイスの開発に関する研究(制振・制御用アクチュエータ)(OS 制振・制御用センサ・アクチュエータ)
- 超磁歪アクチュエータによるオングストロームオーダ送りシステムの開発
- 316 マイクロ非球面レンズ金型の複合加工 : 電極消耗と形状精度(OS6 マイクロ加工(1))
- 415 レーザマイクロマシニングシステムの開発
- F-0520 複合型マイクロマシニングシステムの開発(J17-1 マイクロトライボロジー&プロセッシング(1))(J17 マイクロトライボロジー&プロセッシング)
- 操作性の均一化を目指したマン・マシンインターフェースの構築-視覚・触覚情報と操作情報とを融合したシステムの機構-
- 高温高速液滴による皮膜形成素過程の分子動力学解析 : 液滴の扁平過程と原子挙動(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- F-0502 高ひずみ速度における加工メカニズムに関する研究(G13-1 生産加工・工作機械(1))(G13 生産加工・工作機械部門一般講演)
- 精密工学会の活性化を望む : 理事と編集委員の語らい(会名変更記念特集/精密工学・工業とは)
- 機械工学年鑑(1997年) : 加工学・加工機器
- 大会の活力を会誌にも : 講演会研究発表・討論展望を執筆して
- 3512 原子間力顕微鏡による表面観察過程のシミュレーション
- 308 TiO_2膜の基本特性に関する研究(精密/微細加工と評価)
- 金属粒子適用マイクロファブリケーションの基礎的研究 : 第1報:鋼の微小引っかきに及ぼす第2相合金の影響
- 予知計測管理加工システムの基礎的研究(第2報) : Si(100)基板のポリシング加工
- 磁気ディスク基板の研磨加工に関する研究(第1報) : 評価特性値による最適研磨条件の導出方法の提案
- 308 マイクロマニピュレーションの軌道制御に関する研究(精密/微細加工と評価)
- 超磁歪アクチュエータによる巨大重量・超微細送りシステム
- 回転座標変換型ハイパスフィルタの拡張ボード線図による解析
- 3507 超音波適用による加工表面品質の改善に関する研究
- AEを用いたファインセラミックスの研削き裂のインプロセス検出
- 304 高機能材料のCMG(Chemo-Mechanical-Grinding)加工に関する研究(精密/微細加工と評価)
- 206 光学ガラスの超精密CMG加工に関する研究(OS-7 ナノ・マイクロ加工)
- 微小引っかきによるシリコンウエハ研削現象の解析
- 302 金型の微細加工に関する研究(精密/微細加工と評価)
- 307 プローブ陽極酸化を用いたSi基板上のナノ構造の創成に関する研究(精密/微細加工と評価)
- 309 Siウエハのナノ引っかきによるナノ構造創成の検討(精密/微細加工と評価)
- 306 超短パルスレーザによるSiウエハ割断法に関する研究(精密/微細加工と評価)
- 画像情報を用いたダイヤモンドバイト自動研磨システムの開発
- 塑性ひずみ軽減加工とφ300Siウエハ完全表面創成加工の評価 (特集 工作機械:砥粒加工技術編)
- 513 超磁歪素子を用いた振動子に関する研究(OS-4 機械要素技術)
- 209 Siウエハのナノ引っかき実験とシミュレーション(OS-7 ナノ・マイクロ加工)
- 208 大口径シリコンウエハの研削加工と加工変質層(OS-7 ナノ・マイクロ加工)
- 203 金型の微細加工に関する研究(OS-7 ナノ・マイクロ加工)
- 1413 画像情報を用いたダイヤモンドバイト自動研磨システムの開発(S80-2 特殊加工プロセス(2),S80 特殊加工プロセス)
- 306 EDMによる高アスペクト比微細深孔加工に関する研究(精密/微細加工と評価)
- フライスカッタ構造による工具の長寿命化に関する研究
- 超精密切削用ダイヤモンド工具の長寿命化 : 無電解 Ni-P の超精密切削加工に関する研究
- 超精密加工液の濾過機械の開発に関する研究
- 無電解Ni-Pめっきの超精密切削加工
- 超精密切削加工に関する研究 : 磁気ディスクサブストレートの加工
- 昭和60年度秋季大会学術講演会に見る「加工」関連研究の動向
- 磁気ディスク産業の動向に関する調査報告 : 貿易摩擦の一端を見る
- 中国精密工学の概況
- 球状セメンタイトを含む鋼の被研削性
- パーソナルコンピュータ制御超精密旋盤の試作(拡大するパーソナルコンピュータの応用)
- 超精密切削加工に関する研究 : 超精密旋盤の試作と若干の実験
- 超精密機械加工の研究に関する米国の現状
- 熱・電・磁場附加による工具改質に関する研究
- 412 電場による切削工具の改質
- 606 層状・球状セメンタイトのマイクロスクラッチングに関する研究
- 2833 鉄鋼材料のマイクロ機械加工における結晶依存性
- 214 鉄鋼材料のマイクロマシニングにおける結晶依存性の解明
- 鋼のマイクロマシニングに関する研究:塑性変形の結晶依存性
- 2609 電気泳動法によるCMG砥石の開発とその性能評価(S74-1 砥粒加工(1),S74 砥粒加工)
- 907 電気泳動法によるCMG砥石の開発のその性能評価(関東支部 茨城講演会)
- 電子・磁気・光学基板の脆性-延性モード統合仕上げ加工
- 新構想に基づく切削油剤の創作
- Φ300シリコンウエハ超精密研削加工シミュレーション
- 805 超精密表面創成シミュレーションに関する研究(オーガナイズドセッション : 加工・機械の構造と機能の進化)
- 鶏卵殻の切断
- ステレオ視法によるSEM画像の3次元形状計測および復元
- 201 ステレオ法による三次元形状計測に関する研究 : 特徴点抽出手法の検討(精密/微細加工と評価,オーガナイズドセッション)
- 難削材用水溶性研削・切削油剤の開発
- 鋼のオーステナイト相の変態によって生成する各種組織の研削特性 : 恒温変態によって生ずるベーナイト組織の被研削性(第1報)
- 801 原子スケールのスティックスリップ現象の3次元解析(オーガナイズドセッション : 加工・機械の構造と機能の進化)
- 302 CMGによるパターンウエハの平坦化に関する研究(精密/微細加工と評価)
- 21211 画像情報援用マイクロ加工機の位置制御に関する研究(高精度・高能率のための加工技術(2),OS9 高精度・高能率のための加工技術)
- 906 Chemo-Mechanical-Grindingによるパターンウエハの平坦化に関する研究(関東支部 茨城講演会)
- 530 CMG砥石の開発及びその評価(OS11 研削・砥粒加工)
- 316 ピコ秒パルスレーザを用いた球面形状創成(OS13 レーザ応用加工)
- 鋼のマイクロマシニングに関する研究 : パーライトの引っかき挙動
- F-0533 鋼のマイクロマシニングに関する研究(J17-4 マイクロトライボロジー&プロセッシング(4))(J17 マイクロトライボロジー&プロセッシング)
- 412 鋼の微小引っかき実験
- 802 鋼のマイクロトライボロジー(オーガナイズドセッション : 加工・機械の構造と機能の進化)
- 608 センサベース・マイクロマニピュレーション : プローブの接触制御に関する研究
- 804 φ300mmシリコンウエハの超精密研削加工(オーガナイズドセッション : 加工・機械の構造と機能の進化)
- 610 超短パルスレーザによる微小空間素子成形に関する研究
- 3次元画像認識システムの開発(オーガナイズドセッション,ライフサポートにおける工学技術)
- 粉末冶金超磁歪材料を用いたポンプの試作に関する研究
- 超磁歪材料を用いた磁歪振動センサ
- 806 学生実験用デスクトップマニュファクチャリングシステムの開発(オーガナイズドセッション : 加工・機械の構造と機能の進化)
- 国(NEDO)委託研究プロジェクトとしての取纏、管理
- 砥粒による材料除去機構の微視的解析
- 213 多機能マイクロマシニングシステムによる非球面レンズ金型の創成
- 513 画像フィードバックによる位置決めに関する研究(OS7 ナノ・マイクロ加工)
- 2829 Meso-Micro 域における機械加工技術の開発
- 406 CMG に関する研究
- 超磁歪捻りアクチュエータ
- 超磁歪アクチュエータ
- Chemo-Mechanical Grindingに関する研究 : 予備実験について
- 大口径シリコンウエハ研削加工における幾何形状創成に関する研究
- 609 MEDM による高アスペクト比極微小径素子成形に関する研究
- 604 AFM による完全表面観察の分子動力学解析
- 金属の微小引っかきに関する研究
- 3506 塑性伝播速度における材料の除去メカニズム