610 超短パルスレーザによる微小空間素子成形に関する研究
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概要
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Recently, in order to fulfill the demands of high integration in electronic and optical applications. Their industries are looking for multiple principles to access different materials in 3-dimensional manner according to each objective. Laser micro-machining technology has been progressing rapidly in recent years for its 3D accessibility to a variety of materials. Especially, the ultra short pulse laser reduces heat-affected damage of the material and opens new way for micro machining. In this research we have attempted to generate a micro spherical profile with pico second pulse laser.
- 2003-09-19
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