2829 Meso-Micro 域における機械加工技術の開発
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
In order to meet the demands of high integration in electronic and optical applications, mechanical micro-machining technology [1,2] has been progressing rapidly in recent years for its 3D accessibility to a variety of materials. Newly developed in this research is a multifunctional machining system capable of micro-milling, turning, grinding, buffing, polishing, EDM, ECM, laser machining and their combinations. This paper reports design and development of the system and its application in micro lens mold fabrication.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2002-09-20
著者
関連論文
- 機能時に歯に加わる圧縮力および引張力の生体内三次元測定
- オーバーデンチャー支台インプラント荷重の三次元解析システムの開発とその生体応用
- 18. 歯に加わる荷重の生体内三次元測定(平成16年度東北支部大会抄録, 支部大会抄録)
- 1242 パウダージェットデポジッション法による機能性酸化物の成膜とその物性(J11-1 粒子付着・成膜プロセスと膜の機械的特性(1) コールドスプレー皮膜の諸特性,ジョイントセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 2812 X 線回折を用いたシリコンウエハの研削ダメージ評価法の検討
- 305 ステレオ法によるSEM画像からの3次元計測および形状復元(精密/微細加工と評価)
- ナノ微細加工技術による齲蝕治療
- 217 超磁歪を用いた制振デバイスの開発に関する研究(制振・制御用アクチュエータ)(OS 制振・制御用センサ・アクチュエータ)
- 316 マイクロ非球面レンズ金型の複合加工 : 電極消耗と形状精度(OS6 マイクロ加工(1))
- 415 レーザマイクロマシニングシステムの開発
- F-0520 複合型マイクロマシニングシステムの開発(J17-1 マイクロトライボロジー&プロセッシング(1))(J17 マイクロトライボロジー&プロセッシング)
- 操作性の均一化を目指したマン・マシンインターフェースの構築-視覚・触覚情報と操作情報とを融合したシステムの機構-
- 高温高速液滴による皮膜形成素過程の分子動力学解析 : 液滴の扁平過程と原子挙動(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 工具断面形状比の効果について : 超音波型彫り加工
- 414 超音波加工における工具断面形状の効果
- 超音波加工の工具断面形状の砥粒挙動
- 220 超音波加工に対するスラリの影響について
- 514 超音波加工における砥粒の挙動(機械工作・生産工学)
- F-0502 高ひずみ速度における加工メカニズムに関する研究(G13-1 生産加工・工作機械(1))(G13 生産加工・工作機械部門一般講演)
- 微小空間におけるナノ・マイクロ粒子ジェットの静電加速特性(非ニュートン性,機能性を示す複雑流体の流動と応用)
- 静電加速による微粒子マイクロジェットの高性能化
- 3512 原子間力顕微鏡による表面観察過程のシミュレーション
- 308 TiO_2膜の基本特性に関する研究(精密/微細加工と評価)
- 209 AJM による微細加工
- 202 パラレル研削法によるガラスモールド用非球面金型の加工
- 高精度マイクロ放電加工の研究(第3報) : 脱イオン水を用いたマイクロ放電加工の加工メカニズム解明
- 16・3 研削・研磨加工(16.加工学・加工機器,機械工学年鑑)
- 高精度マイクロ放電加工の研究(第2報) : 次世代マイクロ放電加工機の開発
- 高精度マイクロ放電加工の研究(第1報) : 加工単位の微細化におけるRC回路構成要素の影響の把握
- ナノ精度機械加工専門委員会活動報告(5.3 専門委員会・分科会の活動,5.精密工学の輪,創立75周年記念)
- ナノ精度マイクロ機械加工の現状と将来(3.1 各分野の現状,3.精密工学の今,創立75周年記念)
- 脱イオン水によるマイクロ放電加工の研究
- E35 シリコン切削における加工温度解析および工具摩耗メカニズムの考察(OS-11 超精密加工(2))
- 単結晶ゲルマニウムの超精密・高能率加工特性
- 噴射加工がもたらすイノベーション
- 313 高精度低測定力機上測定機の開発(OS-10 加工計測・評価)
- ELID研削システム搭載デスクトップマシンツールにおける非球面レンズの開発
- 超音波振動を援用した小径内面の精密研削に関する研究 : 超音波振動による研削抵抗低減のメカニズム
- 2616 超音波援用研削に関する研究 : CBN小径砥石のツルーイングにおける超音波振動の効果(S74-2 砥粒加工(2),S74 砥粒加工)
- 308 マイクロマニピュレーションの軌道制御に関する研究(精密/微細加工と評価)
- 211 電気粘性流体援用マイクロ超音波加工に関する研究(OS-7 ナノ・マイクロ加工)
- 2612 超精密非球面研削に関する研究(S74-1 砥粒加工(1),S74 砥粒加工)
- 534 窒化アルミニウムの超精密平面ホーニングに関する研究(OS11 研削・砥粒加工)
- 3507 超音波適用による加工表面品質の改善に関する研究
- 304 高機能材料のCMG(Chemo-Mechanical-Grinding)加工に関する研究(精密/微細加工と評価)
- 206 光学ガラスの超精密CMG加工に関する研究(OS-7 ナノ・マイクロ加工)
- 微小引っかきによるシリコンウエハ研削現象の解析
- 302 金型の微細加工に関する研究(精密/微細加工と評価)
- 307 プローブ陽極酸化を用いたSi基板上のナノ構造の創成に関する研究(精密/微細加工と評価)
- 309 Siウエハのナノ引っかきによるナノ構造創成の検討(精密/微細加工と評価)
- 306 超短パルスレーザによるSiウエハ割断法に関する研究(精密/微細加工と評価)
- 画像情報を用いたダイヤモンドバイト自動研磨システムの開発
- 塑性ひずみ軽減加工とφ300Siウエハ完全表面創成加工の評価 (特集 工作機械:砥粒加工技術編)
- 208 大口径シリコンウエハの研削加工と加工変質層(OS-7 ナノ・マイクロ加工)
- 203 金型の微細加工に関する研究(OS-7 ナノ・マイクロ加工)
- 1413 画像情報を用いたダイヤモンドバイト自動研磨システムの開発(S80-2 特殊加工プロセス(2),S80 特殊加工プロセス)
- 306 EDMによる高アスペクト比微細深孔加工に関する研究(精密/微細加工と評価)
- セラミックス研削における延性・ぜい性遷移域の仕上面粗さ
- セラミックス研削におけるダイヤモンド砥粒切れ刃の磨耗過程
- 412 電場による切削工具の改質
- 606 層状・球状セメンタイトのマイクロスクラッチングに関する研究
- 2833 鉄鋼材料のマイクロ機械加工における結晶依存性
- 214 鉄鋼材料のマイクロマシニングにおける結晶依存性の解明
- 2609 電気泳動法によるCMG砥石の開発とその性能評価(S74-1 砥粒加工(1),S74 砥粒加工)
- 907 電気泳動法によるCMG砥石の開発のその性能評価(関東支部 茨城講演会)
- 233 非球面研削における研削条件の影響 : 超精密研削面のナノトポグラフィーに関する研究(OS5 電子部品・光学部品の超精密加工)
- 805 超精密表面創成シミュレーションに関する研究(オーガナイズドセッション : 加工・機械の構造と機能の進化)
- 高硬度鋼材研削におけるWA/SG/cBNホイールの研削性能
- 2802 非球面形状のオンマシン測定(第 2 報) : 接触式プローブ先端球形状誤差の校正
- 201 ステレオ法による三次元形状計測に関する研究 : 特徴点抽出手法の検討(精密/微細加工と評価,オーガナイズドセッション)
- 501 調整砥石レスセンタレス研削装置の開発研究(OS2 最新の工作機械(1))
- ガスバッグベルトホイールによる高能率研削-ダイヤモンドガスバッグべルトホイールの研削特性-
- 微細形状創成のための電気粘性流体援用加工法の開発
- 単結晶Siのダイヤモンド切削に関する研究(第1報) -工具すくい角の影響-
- 801 原子スケールのスティックスリップ現象の3次元解析(オーガナイズドセッション : 加工・機械の構造と機能の進化)
- 302 CMGによるパターンウエハの平坦化に関する研究(精密/微細加工と評価)
- 21211 画像情報援用マイクロ加工機の位置制御に関する研究(高精度・高能率のための加工技術(2),OS9 高精度・高能率のための加工技術)
- 906 Chemo-Mechanical-Grindingによるパターンウエハの平坦化に関する研究(関東支部 茨城講演会)
- 530 CMG砥石の開発及びその評価(OS11 研削・砥粒加工)
- 316 ピコ秒パルスレーザを用いた球面形状創成(OS13 レーザ応用加工)
- F-0533 鋼のマイクロマシニングに関する研究(J17-4 マイクロトライボロジー&プロセッシング(4))(J17 マイクロトライボロジー&プロセッシング)
- 412 鋼の微小引っかき実験
- 802 鋼のマイクロトライボロジー(オーガナイズドセッション : 加工・機械の構造と機能の進化)
- 608 センサベース・マイクロマニピュレーション : プローブの接触制御に関する研究
- 804 φ300mmシリコンウエハの超精密研削加工(オーガナイズドセッション : 加工・機械の構造と機能の進化)
- セラミックスの研削仕上面粗さに及ぼす砥粒切れ刃形状の影響
- 610 超短パルスレーザによる微小空間素子成形に関する研究
- 3次元画像認識システムの開発(オーガナイズドセッション,ライフサポートにおける工学技術)
- 806 学生実験用デスクトップマニュファクチャリングシステムの開発(オーガナイズドセッション : 加工・機械の構造と機能の進化)
- 砥粒による材料除去機構の微視的解析
- 213 多機能マイクロマシニングシステムによる非球面レンズ金型の創成
- 513 画像フィードバックによる位置決めに関する研究(OS7 ナノ・マイクロ加工)
- 2829 Meso-Micro 域における機械加工技術の開発
- 406 CMG に関する研究
- 609 MEDM による高アスペクト比極微小径素子成形に関する研究
- C28 高速粒子衝突による材料除去のメカニズム : パウダージェット加工に関する研究(OS7 研削・砥粒加工(2))
- 604 AFM による完全表面観察の分子動力学解析
- C26 超音波援用マイクロ研削による研削面性状の高精度化(OS7 研削・砥粒加工(1))
- 金属の微小引っかきに関する研究
- 3506 塑性伝播速度における材料の除去メカニズム