高精度マイクロ放電加工の研究(第1報) : 加工単位の微細化におけるRC回路構成要素の影響の把握

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概要

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• 電気加工学会の論文
• 2009-07-30

著者

• 厨川 常元

  東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻

• 厨川 常元

  東北大学

• 厨川 常元

  東北大学大学院工学研究科ナノ加工分野

• 正木 健

  正木技研

• 厨川 常元

  東北大 工

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