超安定・超精密非球面研削加工の提案と光学素子創成の高精度化 (特集:高精度仕上げの最前線!)

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概要

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• 日本オプトメカトロニクス協会の論文

著者

• 厨川 常元

  東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻

• 厨川 常元

  東北大学大学院

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