円弧包絡研削法による非球面ミラ-の超精密研削 (特集:ス-パ-表面をめざす次世代超精密加工技術)

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概要

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• 日本オプトメカトロニクス協会の論文

著者

• 厨川 常元

  東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻

• 厨川 常元

  東北大学大学院

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