534 窒化アルミニウムの超精密平面ホーニングに関する研究(OS11 研削・砥粒加工)
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概要
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In this paper, grinding of sintered aluminum nitride (A1N) is investigated. The AIN has many advantages (e.g. high thermal conductivity, low thermal expansion). Therefore, there are great demands for AIN as a material of parts. The AIN consist of many crystal grains. And the crystal grains are easy to peel off in grinding process, so that the roughness of ground surface becomes worse. Therefore, experiments are carried out under various conditions. As a result, it is found that the surface roughness becomes better under the condition of high rotation speed and high machining force with vitrified bond wheel.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2004-11-19
著者
-
厨川 常元
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
-
吉原 信人
東北大学大学院工学研究科
-
厨川 常元
東北大学
-
吉原 信人
東北大・工
-
厨川 常元
東北大 工
-
鈴木 眞哉
東北大
-
吉原 信人
東北大学
-
吉原 信人
東北大・院
-
厨川 常元
東北大学大学院工学研究科
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